超精密加工零件所能達到的精度、表面粗糙度、加工尺寸范圍和幾何形狀是一個國家制造技術(shù)水平的重要標志之一。超精密加工技術(shù)是尖端技術(shù)產(chǎn)品發(fā)展中不可缺少的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。例如,關(guān)系到現(xiàn)代飛機、潛艇、導彈性能和命中率的慣導儀表的精密陀螺、激光核聚變用的反射鏡、大型天體望遠鏡的反射鏡和多面棱鏡、大規(guī)模集成電路的硅片、計算機磁盤及復印機
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