超精密加工中的誤差分離
在超精密加工零件中，工件輪廓直線度誤差與溜板的直線運(yùn)動(dòng)誤差處于同一數(shù)量級(jí)(通常為亞微米量級(jí))。電容、電感傳感器有很高的分辨率和測(cè)量精度，很適合于高精度測(cè)量。但這類傳感器測(cè)量的量程有限，所以用掃描法將位移測(cè)頭安裝在溜板上，沿工件的被測(cè)輪廓作直線運(yùn)動(dòng)，或者將傳感器固定，工件隨溜板一起運(yùn)動(dòng)，要想得到精確的工件輪廓直線度或溜板直線運(yùn)動(dòng)誤差，便需要采用誤差分離的辦法。
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